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DRF4050单晶硅生长炉

  • 产品详细说明
  •  DRF-40/50单晶硅生长炉属软轴提拉式单晶炉

    它是在惰性气体环境中.通过石墨电阻加热器将硅半导体材料加热溶化.然后用直拉法生长无位错单晶的专用设备.克用于大规模生产集成电路、太阳能电池、硅晶材料检测研究等行业.
     

    主要技术参数

    DRF-40

    DRF-50

    控制晶体最大直径

    φ1.5"(φ40mm)

    φ3"(φ80mm)

    熔料量

    3kg(6"坩埚)

    10kg(10"坩埚)

    主炉筒尺寸

    φ400×680mm

    φ500×780mm

    翻板阀通径

    φ100mm

    φ148mm

    籽晶拉速范围

    0.2-8mm/min

    0.2-8mm/min

    坩埚转速范围

    0-30rpm

    0-30rpm

    籽晶转速范围

    0-30rpm

    0-20rpm

    坩埚最大升、降行程

    210mm

    220mm

    主变压器容量

    30KVA

    40KVA

    电极中心距/数量

    φ240mm/2(标准)

    φ240mm/2(标准)

    冷炉极限真空度

    <3pa

    <3pa

    主机重量

    3500kg

    4000kg

    外形尺寸

    2050L)×1000(W) ×3500H)mm

    2050L)×1000(W) ×4300H)mm

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